干式真空泵在很多應(yīng)用場合達(dá)到了理想的使用效果，工作容積中無油，更加耐用，可靠。

1、用于低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2、干式真空泵用于半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求；

4、干式真空泵適用于化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，防止了有機(jī)溶劑造成污染；

5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。

干式真空泵在應(yīng)用中維護(hù)少，更加省時(shí)省力，同時(shí)也減少了污染的危害。

干式無油真空泵如來果操作或維護(hù)不當(dāng)，就會造成冒煙等故障，這時(shí)候我們首先要了解原因，然后找出解決方案。

1、冒煙，如果是干式無油真空泵剛剛開始運(yùn)轉(zhuǎn)有冒煙的現(xiàn)象，屬于正常，如果長時(shí)間在冒煙就是不正常了。

解決方法：冒煙說明泵的進(jìn)氣口外，包括管道、閥門、容器有修理的情況。檢漏以后處理了，冒煙會結(jié)束。

2、噴油，說明進(jìn)氣口外有大量的漏點(diǎn)，甚至是進(jìn)氣口暴露大氣。

解決方法：①封住干式無油真空泵的進(jìn)氣口使泵運(yùn)轉(zhuǎn)，如果不噴油的話，說明有漏點(diǎn)；

②排氣閥片損壞，檢查排氣閥片是否損壞，更換壞的排氣閥片。

干式無油真空泵故障分別由不同的原因引起的，零部件損壞要及時(shí)的更換，防止引起大的故障。

干式真空泵溫度高一直是困擾用戶的大問題，解決這個(gè)問題首先要了解導(dǎo)致這種問題出現(xiàn)的原因是什么，進(jìn)行總結(jié)然后做出技術(shù)處理。

一、原因

①風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低，風(fēng)壓，風(fēng)量小。電機(jī)功率大，工作電流大，發(fā)熱量大

②風(fēng)扇葉片數(shù)較少，產(chǎn)生的風(fēng)量小。

③真空泵電機(jī)所在母線電壓380V，由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均，電機(jī)實(shí)際所加電壓只有365V，電壓偏低造成運(yùn)行電流大。

④電動機(jī)附有灰塵、油污，降低了散熱能力。

二、解決方法

電機(jī)功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵相匹配的，不能更改。風(fēng)扇安裝于電機(jī)主軸上，電機(jī)轉(zhuǎn)速決定了風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，也不可更換。增加風(fēng)扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用，但葉片數(shù)量增加后，動平衡不容易找，如找正不好，會引起電機(jī)振動增加。

將原風(fēng)扇罩加長40cm，在里面加裝一個(gè)與風(fēng)扇罩同直徑軸流風(fēng)機(jī)，軸流風(fēng)機(jī)電機(jī)功率850W，轉(zhuǎn)速1489r/min，電壓380V。原風(fēng)扇繼續(xù)保留。軸流風(fēng)機(jī)服裝學(xué)校另設(shè)一路電源控制，軸流風(fēng)機(jī)與主電機(jī)不設(shè)連鎖。真空泵啟動后及時(shí)啟動軸流風(fēng)機(jī)運(yùn)行，真空泵停運(yùn)后30min停運(yùn)軸流風(fēng)機(jī)，以使主電機(jī)得到充分冷卻；定期清除電機(jī)上灰塵，保持電機(jī)散熱片清潔，增加其散熱能力；將干式真空泵所在母線電壓調(diào)整為400V。