針對這種不一樣種類的干式真空泵，大家都期盼可以將其物理學(xué)規(guī)格減少。但這與真空泵的抽真空速度相分歧，由于真空泵的抽真空速度與真空泵的容量正相關(guān)，物理學(xué)規(guī)格小代表著容量也小。自然，還有一個(gè)危害真空泵的抽真空速度的關(guān)鍵要素，那便是轉(zhuǎn)速比。為了更好地讓小規(guī)格的真空泵的抽真空速度與大容量真空泵的抽真空速度相符合，就必須提升 它的轉(zhuǎn)速比。而要想更改真空泵的轉(zhuǎn)速比有二種方式，一是更改開關(guān)電源的頻率，即選用軟啟動器;二是更改減速箱的減速比。在其中，選用軟啟動器的益處是能夠出示一個(gè)閉環(huán)控制系統(tǒng)，但在大負(fù)荷下非常容易造成扭距的損害。而更改減速箱的減速比是一種十分經(jīng)濟(jì)發(fā)展的方式，自然，它只有出示不可控性的單一轉(zhuǎn)速比。

如今，能夠見到干式真空泵擁有 這般多的不一樣設(shè)計(jì)方案，他們分別擁有 自身的特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。一直以來，應(yīng)用成本費(fèi)是一個(gè)危害大家挑選真空泵的關(guān)鍵要素。愈來愈多的真空泵客戶意識到也應(yīng)當(dāng)將真空泵運(yùn)作的可靠性考慮到進(jìn)來。由于真空泵的出現(xiàn)意外失敗會造成設(shè)備的應(yīng)用高效率減少，危害到圓晶的生產(chǎn)制造和供貨周期，乃至導(dǎo)致所生產(chǎn)加工圓晶的損毀和設(shè)備其他構(gòu)件的毀壞。因?yàn)槁輻U式壓縮機(jī)設(shè)計(jì)方案為單極設(shè)計(jì)方案，同多級離心泵如圓裂片式，爪式及其整體式對比，其在零件的應(yīng)用總數(shù)上降低了60%。這促使其在可靠性和未來的檢修成本費(fèi)上面有非常大的優(yōu)點(diǎn)。

綜合性考慮到，假如客戶覺得用電量對他而言更為關(guān)鍵而N2使用量對他而言最不重要，那麼挑選內(nèi)部縮小型螺桿式壓縮機(jī)能夠是一個(gè)好的挑選。但廣泛來說，對尾氣處理愈來愈嚴(yán)苛的規(guī)定促使未來對降低N2的使用量越來越更關(guān)鍵。假如你期待用單一種類的泵不歷經(jīng)更改來解決各種各樣不一樣的半導(dǎo)體材料加工工藝，而促使你的庫存控制簡單，那麼外界縮小型螺桿式壓縮機(jī)就是你最好是的挑選。

依據(jù)實(shí)際情況，綜合性之上全部設(shè)計(jì)方案種類的優(yōu)勢一定是最理想化的挑選，但現(xiàn)階段還不大可能。因而，這就規(guī)定使用人最先要了解在干試泵的設(shè)計(jì)方案上擁有 這般多的不一樣設(shè)計(jì)方案種類，從而依據(jù)本身加工工藝特性掌握各種各樣不一樣種類泵的設(shè)計(jì)方案對其危害。那樣作出的挑選才可以盡量減少其應(yīng)用成本費(fèi)，而得到 一個(gè)使用壽命較長的平穩(wěn)的超濾裝置。