目前各種真空泵的開展愈來愈遭到真空應(yīng)用場(chǎng)所的影響，普通的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油的耐腐蝕的請(qǐng)求，因而近年來干式真空泵市場(chǎng)需求量很大，真空獲得產(chǎn)品曾經(jīng)呈現(xiàn)更新?lián)Q代的場(chǎng)面，大量的有油真空系統(tǒng)曾經(jīng)被無油清潔的真空系統(tǒng)所替代。

國外簡(jiǎn)直每一家較大的真空公司都消費(fèi)各種不同型式的干式真空泵。螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵，是20世紀(jì)90 年代初期呈現(xiàn)的一種理想的泵種，以其抽速范圍寬、構(gòu)造簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無油污染等優(yōu)點(diǎn)占領(lǐng)市場(chǎng)，但其制造技術(shù)大局部為國外控制，我國尚處于起步階段，市場(chǎng)對(duì)于干式泵有迫切的需求。

一、現(xiàn)狀：

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前曾經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精細(xì)加工等行業(yè)首選真空取得設(shè)備。日本在螺桿緊縮機(jī)根底上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線并投入市場(chǎng)。德國幾家真空設(shè)備公司也逐漸開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研討。

螺桿泵的技術(shù)關(guān)鍵問題：

干式螺桿泵的構(gòu)造：

螺桿真空泵構(gòu)造主要由螺桿轉(zhuǎn)子、殼體、冷卻循環(huán)和密封資料構(gòu)成。傳動(dòng)軸銜接主動(dòng)轉(zhuǎn)子，經(jīng)過同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油光滑。軸承和殼體內(nèi)部經(jīng)過密封件來密封以到達(dá)無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿緊縮機(jī)在密封和光滑上構(gòu)造相似。普通真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動(dòng)方式上，目前通用的是直連電機(jī)，用連軸器與轉(zhuǎn)子銜接，極少數(shù)用皮帶或者鏈傳動(dòng)。

等螺距螺桿泵由于無內(nèi)緊縮過程，排氣溫度十分高（110度左右），假如冷卻效果不好，會(huì)形成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形，影響啜泣效果，所以冷卻機(jī)殼是必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié)，水冷是最常見的辦法。在機(jī)殼本體，軸承外側(cè)通冷卻水，能夠到達(dá)冷卻殼體進(jìn)而冷卻轉(zhuǎn)子的目的。萊寶公司在轉(zhuǎn)子內(nèi)部通水冷卻，增加轉(zhuǎn)子壽命，

并到達(dá)很好的冷卻效果。但是該種構(gòu)造設(shè)計(jì)（兩段式），需求一定的技術(shù)及加工程度支撐。

用水冷有時(shí)不能到達(dá)冷卻效果，因此通常在靠近排氣端轉(zhuǎn)子左近通冷卻氣體（多為氮?dú)猓Ｈ缃駠獾闹髁髀輻U真空泵都采用這種辦法。這種辦法有幾個(gè)益處：第一，能冷卻轉(zhuǎn)子的機(jī)殼，降低排氣溫度；第二，當(dāng)氣體內(nèi)含有顆粒物時(shí)，能避免顆粒物堆積或者發(fā)作化學(xué)反響惹起爆炸。