油式真空泵是通過油來密封，潤滑，降溫，這個類型的油式真空泵可以接受一點水分，而無油真空泵由于葉片材質多是石墨制作的，如果遇到水分，就容易膨脹，損壞，但是無油油式真空泵用起來比較干凈，在一些環(huán)境要求比較高的地方可以使用。

    油式真空泵相比同抽速的無油式旋片泵而言，油式真空泵真空度更高一些。油式旋片油式真空泵在連續(xù)運作中由于有機械密封件與潤滑油的雙層密封，使得油式真空泵在抽除、壓縮與排氣的一系列動作中更穩(wěn)定，氣體泄漏的機率減低。

    油式真空泵對水份的敏感度比無油式真空泵的更容易適應，無油式真空泵由于葉片的限制，旋片在接觸水份后容易膨脹斷裂，對水份的敏感度高；油式真空泵獨特的油式真空泵結構設計，可有效分離油水，故而在有限度水份的行業(yè)被廣泛應用。在越來越注重環(huán)保的趨勢下，自身帶油水分離器結構的油式真空泵，更是得到了大眾的認可與使用，有效保護環(huán)境清潔。例如，線路板行業(yè)，玻璃制程生產等。

    油式真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空;有的油式真空泵出口壓力低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。經組合使用的油式真空泵，我們稱之為油式真空泵機組，它能使真空系統得到較好的真空度及排氣量。我們應正確地選擇組合的油式真空泵，由于不同的油式真空泵對抽除的氣體要求有不同的要求，例如：在一般情況下羅茨-旋片機組不適用于含有較多可凝性氣體的系統。

    真空泵是主要的真空裝備、從產生真空原理上分為：容積式真空泵（如液環(huán)泵，螺桿泵，羅茨泵等）；動量傳遞式真空泵（如分子泵：噴射真空泵:擴散泵均屬于此類）；氣體捕集式真空泵（如鈦升華、鋯鋁合金吸氣泵、低溫泵濺射離子泵、熱蒸發(fā)鈦升華泵等）。