真空泵從選購到使用過程中的注意事項(xiàng)有：

　　1、真空泵工作壓強(qiáng)范圍的選擇：在選擇真空泵的類型時(shí)，需要考慮被抽真空室要達(dá)到的極限壓強(qiáng)和工作壓強(qiáng)。每種真空泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍。

　　2、真空泵廠家的真空泵大小的選擇：選擇真空泵的大小，就是確定真空泵的抽氣能力。真空泵大小的選擇主要根據(jù)兩點(diǎn)：a）根據(jù)被抽真空室工作時(shí)所需要的工作壓強(qiáng)和室內(nèi)的大排氣流量來決定。每種泵都有其極限壓強(qiáng)和佳抽速壓強(qiáng)范圍，真空室內(nèi)壓強(qiáng)要在泵的佳抽速壓強(qiáng)范圍內(nèi)。b）根據(jù)真空室的大小和抽氣時(shí)間要求來選擇。 另外真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

    3、正確地組合真空泵：由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

    4、真空設(shè)備對油污染的要求：若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。