無油干式機(jī)械真空泵（又簡稱干式機(jī)械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機(jī)械真空泵。

2013年止，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。

對于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。

應(yīng)用

干式真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；

4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。

在許多工業(yè)過程中，例如真空過濾，真空分流，真空進(jìn)料，真空蒸發(fā)，真空濃縮，真空回流和真空脫氣，水環(huán)泵已被廣泛應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛速發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空采集方面受到重視。由于水環(huán)泵氣體是等溫壓縮，可以除去易燃，易爆氣體，除灰塵外，還可以除水，因此水環(huán)泵的應(yīng)用越來越多。在泵體內(nèi)配合適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪順時針旋轉(zhuǎn)時，水被泵送在葉輪周圍，并且由于離心力，水形成大約等于泵腔厚度的閉環(huán)。水環(huán)下部的內(nèi)表面與葉輪轂完全相切，水環(huán)的上內(nèi)表面剛剛與刀片頂部接觸（實(shí)際上刀片在水環(huán)中有一定的插入深度）。

此時葉輪轂與水環(huán)之間形成月牙形空間，并將此空間分為葉數(shù)和葉數(shù)相同的小腔。如果葉輪的下部以0°為起點(diǎn)，則葉輪在180°之間旋轉(zhuǎn)時，小腔體積從小到大，并與吸氣端連接，此時氣體為吸入，與吸入口隔離;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時，空腔大大減小，使得氣體被壓縮;當(dāng)小腔和排氣口，氣體將被排出泵外?？傊?，水環(huán)泵是由泵室容積變化來實(shí)現(xiàn)吸氣，壓縮和排氣，因此屬于變?nèi)萘空婵毡?。根泵在泵室?nèi)，真空泵中有兩個“8”形轉(zhuǎn)子需要前級泵。防腐泵的極限真空取決于泵本身的結(jié)構(gòu)和制造精度，也取決于前泵的極限真空度。

為了提高泵的真空極限，羅茨泵可以串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理就像羅茨鼓風(fēng)機(jī)。作為轉(zhuǎn)子的連續(xù)旋轉(zhuǎn)的結(jié)果，泵從入口被吸入到轉(zhuǎn)子和泵殼體之間的空間v0中，并通過排氣口排出。由于空氣在v0空間完全封閉后，因此，泵室中的氣體不被壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子的頂部通過排氣邊緣時，v0空間與排氣側(cè)的連通，由于排氣側(cè)的氣體壓力較高，則部分氣體返回空間v0至氣體壓力 突然增加 當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時，氣體離開泵。